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用ZeroMet™（一种低膨胀镍/铁合金）制造的铟钢栅尺，具有20 µm栅距的增量式刻线。它可与精细栅距的玻璃栅尺媲美，在1.5 m长度内的总体精度（包括斜率误差和线性误差）优于±1.5 µm。ZeroMet在20 °C时的热膨胀系数为0.75 ±0.35 µm/m/°C。系统设计人员可···
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