Aerotech超精密气浮转台

平台表面的综合运动误差明显优于其他结构类型的旋转平台。气浮转台由无齿槽无刷力矩电机直接驱动，刚性耦合，没有柔性环节，没有齿槽力矩引起的力矩波动，具有极高的带宽和超平滑的速度轨迹，特别适用于对低速稳定性要求极高的应用。转台的反馈系统由高精度圆光栅构成，通过电子细分技术，能够实现0.007角秒（arc sec）的机械分辨率（Minimum incremental step）和0.12角秒的定位精度（Accuracy，follow ISO230-2）。