晶圆搬运机器人

      面对客户现有设备的诸多实际应用痛点，如电机安装在真空环境中的发热控制，电机的真空度适应能力提升，中心力矩电机控制需适应机器人不同位置和负载重量带来的负载惯量动态变化，以及实现运动模块之间的协同运动极为平稳可靠等要求，科尔摩根技术专家为其推荐了高性能的KBM无框直驱电机匹配AKD伺服驱动器的解决方案。定制化的KBM无框直驱电机方案，节省了设备约40%的安装空间。同时，控制器提供反向运动学算法及抑振算法，保障了晶圆搬运机器人的高速平稳运行，且实时轨迹修改实现了平稳轨迹运动。另外，双二阶滤波器，电机斜槽设计等手段*大程度减少了转矩纹波，全方位提高了设备的竞争力。