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Aerotech AGV-SPO振镜Aerotech的AGV-SPO单枢轴检流计扫描仪可替代传统的两镜振镜扫描仪
产品详情
Aerotech的AGV-SPO单枢轴检流计扫描仪可替代传统的两镜振镜扫描仪。AGV-SPO源自流行的AGV-HPO扫描仪，可为关键的激光微加工应用提供更大的视野并减少点畸变。
设计特点
· 比传统的2D扫描仪更大的视野，简化了较大零件的处理
· 在整个视场中将光斑失真降至低，从而将高质量的激光加工零件的加工偏差降至低
· 空气和水冷却选件可提供热稳定性并提高长期精度
· 适用于各种激光波长的多种镜面处理选择
模型 | AGV14SPO | |
光学性能 | ||
光束孔径 | 14毫米 | |
扫描角度 | ±20° | |
光束位移 | 35毫米 | |
抖动 | RMS 0.3微弧度 | |
准确性 | 50微弧度pk-pk | |
重复性（3） | 均方根值 0.6 µrad | |
增益误差 | 0.05弧度 | |
非线性度 | 0.005％ | |
动态表现 | ||
追踪误差 | 0微秒 | |
峰值加速度（4,5） | 60,000 m / s 2 | |
连续加速（4，6） | 20,000 m / s 2 | |
定位速度（4） | 50 m /秒 | |
处理速度（4、7、8） | 5 m / s5 | |
跳跃和稳定时间，移动1毫米（ 4，9 ） | 700微秒 | |
稳定性 | ||
长期漂移 | 偏移量 | 10 µrad / 12小时 |
15微弧度/ 24小时 | ||
获得 | 10 ppm / 24小时 | |
热漂移 | 偏移量 | 20微弧度/°C |
获得 | 1 ppm /℃ | |
机械规格 | ||
大
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