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标准线性产品线包括适用于各种应用的各种高精度线性平台。优化的空气轴承设计确保了刚度，阻尼，工作量和运行精度。无铁线性驱动器和高精度光学线性编码器带来非常高的精度。
产品详情
标准线性产品线包括适用于各种应用的各种高精度线性平台。优化的空气轴承设计确保了的刚度，阻尼，工作量和运行精度。无铁线性驱动器和高精度光学线性编码器带来较高的精度。
高性能扫描
光学检查系统
超精密研磨
光伏系统
医疗系统
X光
激光加工
半导体产业
晶圆处理
| 旅行 | 100-1500毫米 |
| 装载能力 | > 65公斤 |
| 移动质量 | 10公斤 |
| 舞台质量 | 50-175公斤 |
| 准确性 | 0.3-1微米 |
| 重复性 | 0,1-0,4微米 |
| 平整度 | 0,2-5微米 |
| 沥青 | 4-39微弧度 |
| 滚 | 4-39微弧度 |
| 偏航 | 4-39微弧度 |
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